pn 접합 I: 정전기
다이오드, 트랜지스터, 태양전지, 이미지 센서, LED — 거의 모든 반도체 소자의 심장에는 p형과 n형이 맞닿은 pn 접합(pn junction)이 있다. 두 영역을 붙이는 순간 전자와 정공이 서로 건너편으로 확산하고, 그 자리에 움직이지 못하는 이온이 남아 전기장이 생긴다. 전기장이 확산을 정확히 막아 설 때 페르미 준위는 평평해지고 밴드는 휜다. 이 장에서는 전류가 흐르지 않는 평형과 역바이어스의 정전기만 다룬다. 전하 → 전기장 → 전위 → 밴드로 이어지는 사슬을 손으로 그릴 수 있게 되는 것이 목표다.
- 접합이 만들어질 때 확산·이온 노출·전기장·밴드 휨이 일어나는 순서를 설명한다.
- 내부 전위 \(V_{bi} = (kT/q)\ln(N_AN_D/n_i^2)\)를 페르미 준위 정렬과 전류 평형 두 가지로 유도한다.
- 공핍 근사로 \(\rho(x)\), \(\mathcal{E}(x)\), \(\psi(x)\), 밴드 다이어그램을 그리고 \(W\), \(x_n\), \(x_p\), \(\mathcal{E}_{max}\)를 계산한다.
- 가우스 법칙으로 전하 분포에서 전기장을 바로 읽어 낸다.
- 정확한 포아송 수치 해와 비교해 공핍 근사의 한계(디바이 꼬리, 순방향)를 안다.
- 한쪽 접합·선형 경사 접합의 차이와 접합 용량 \(C_j = \varepsilon_s/W\), \(1/C^2\)–\(V\) 측정으로 도핑과 \(V_{bi}\)를 뽑아낸다.
접합이 만들어지는 순간
따로 떨어진 p형과 n형 실리콘을 생각하자. 같은 재료이므로 진공 준위 \(E_0\)에서 전도대까지의 거리(전자 친화도 \(\chi\))와 밴드갭은 같다. 다른 것은 페르미 준위 \(E_F\)뿐이다. n형은 전자가 많아 \(E_F\)가 전도대 가까이, p형은 정공이 많아 가전자대 가까이 있다. 즉 두 덩어리의 일함수(Work function) \(q\phi = E_0 - E_F\)가 다르다.
둘을 붙이면 경계 양쪽의 농도 차이가 엄청나다(n쪽 전자 \(10^{16}\), p쪽 전자 \(10^4\) cm⁻³). 전자는 n → p로, 정공은 p → n으로 확산한다. 건너간 캐리어는 반대편의 다수 캐리어와 재결합해 사라지고, 경계 근처에는 전자를 잃은 양이온 도너(n쪽)와 정공을 잃은 음이온 억셉터(p쪽)가 남는다. 이온은 격자에 묶여 있어 움직이지 못한다. 이 고정 전하가 n → p 방향의 전기장을 만들고, 전기장은 캐리어를 확산과 반대로 밀어낸다(드리프트). 확산 흐름과 드리프트 흐름이 정확히 같아지면 평형이다. 아래 애니메이션에서 그 과정을 시간 순서로 보자.
p와 n을 붙이면: 확산 → 이온 노출 → 전기장 → 밴드 휨
농도 차이 → 확산 → 이온 노출(공간 전하) → 전기장 → 드리프트가 확산을 상쇄 → 평형. 결과만 보면 "페르미 준위가 평평해질 때까지 밴드가 휜다"로 요약된다. 밴드가 휘는 원인은 전위 \(\psi(x)\)이고, 전위의 원인은 공간 전하다.
내부 전위 Vbi
방법 1 — 페르미 준위 정렬. p쪽 중성 영역에서 \(E_i - E_F = kT\ln(N_A/n_i)\), n쪽에서 \(E_F - E_i = kT\ln(N_D/n_i)\)다. 평형에서 \(E_F\)가 한 줄이 되려면 진성 준위 \(E_i\)가 두 값의 합만큼 어긋나야 하고, 그 어긋남이 \(qV_{bi}\)다.
방법 2 — 전류 평형. 평형에서 전자 전류는 0이다: \(J_n = q\mu_n n\mathcal{E} + qD_n\,dn/dx = 0\). 아인슈타인 관계 \(D_n/\mu_n = kT/q\)와 \(\mathcal{E} = -d\psi/dx\)를 넣으면 \(d\psi = (kT/q)\,dn/n\). p쪽 중성(\(n = n_i^2/N_A\))에서 n쪽 중성(\(n = N_D\))까지 적분하면 같은 식이 나온다. 드리프트와 확산이 각 점에서 정확히 상쇄되는 이 상태를 상세 평형(Detailed balance)이라 한다.
| NA (cm⁻³) | ND (cm⁻³) | Vbi Si | Vbi Ge | Vbi GaAs | W (Si, 0 V) | 𝓔max (Si) | Cj (Si) |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 10¹⁵ | 10¹⁵ | 0.59 V | 0.20 V | 1.03 V | 1.24 µm | 9.6 kV/cm | 8.4 nF/cm² |
| 10¹⁶ | 10¹⁶ | 0.71 V | 0.32 V | 1.15 V | 0.43 µm | 33 kV/cm | 24 nF/cm² |
| 10¹⁷ | 10¹⁶ | 0.77 V | 0.38 V | 1.21 V | 0.33 µm | 47 kV/cm | 31 nF/cm² |
| 10¹⁸ | 10¹⁶ | 0.83 V | 0.44 V | 1.27 V | 0.33 µm | 50 kV/cm | 32 nF/cm² |
| 10¹⁸ | 10¹⁸ | 0.95 V | 0.56 V | 1.39 V | 50 nm | 380 kV/cm | 210 nF/cm² |
| 10¹⁹ | 10¹⁹ | ~1.07 V | ~0.68 V | ~1.5 V | 17 nm | 1.3 MV/cm | 620 nF/cm² |
표: 300 K, 계단 접합, 공핍 근사(볼츠만 통계, 완전 이온화). 마지막 줄은 축퇴 도핑이라 볼츠만 근사가 깨지므로 '~'로 표시했다. 계산은 이 책의 SC.pn.
다이오드 양 끝에 전압계를 대면 0 V가 나온다. 금속 도선과 반도체가 만나는 두 접촉에도 각각 접촉 전위가 생기고, 평형에서는 고리를 한 바퀴 돈 전위 합이 0이어야 하기 때문이다(그렇지 않으면 전지 없이 전류가 영원히 흐른다). \(V_{bi}\)는 C–V 측정이나 광전류 같은 간접 방법으로만 드러난다 — 7절의 챌린지에서 직접 해 보자.
공핍 근사: 전하 → 전기장 → 전위 → 밴드
공핍층 안의 캐리어 농도는 정확히 0이 아니지만, 장벽을 따라 지수적으로 줄어 도핑에 비해 무시할 만하다. 그래서 공핍 근사(Depletion approximation)는 공핍층 안은 캐리어가 완전히 없고(이온만), 밖은 완전히 중성이며, 경계가 칼로 자른 듯 날카롭다고 가정한다. 그러면 포아송 방정식을 손으로 풀 수 있다.
계단 접합: ρ(x) → 𝓔(x) → ψ(x) → 밴드
공식을 외우기 전에 감을 먼저 잡자. 한쪽 도핑만 크게 바꾸면 공핍층 폭은 어떻게 변할까? 답을 고른 다음 결과를 확인하라.
도핑을 10배 올리면 W는?
가우스 법칙으로 보는 전기장
1차원에서 가우스 법칙은 아주 단순하다. 무한한 판 모양의 면전하 \(\sigma\)는 양쪽으로 \(\sigma/2\varepsilon_s\)의 균일한 전기장을 만든다. 여러 장이 있으면 더하기만 하면 된다. 그래서 어떤 점의 전기장은 "그 점 왼쪽에 있는 전하 − 오른쪽에 있는 전하"에 비례한다.
전하를 끌어 보라: 가우스 법칙 놀이터
면전하의 동그란 손잡이를 좌우로 끌어라. 끌지 않고 톡 누르면 부호가 바뀐다.
공핍 근사는 얼마나 정확한가
실제 공핍층 가장자리는 칼로 자른 듯하지 않다. 다수 캐리어 농도는 전위가 \(kT/q\)만큼 바뀌는 거리에 걸쳐 \(e\)배씩 줄어드는데, 그 길이 척도가 디바이 길이(Debye length)다.
아래 시뮬레이터는 같은 접합을 두 가지로 푼다. 점선은 공핍 근사, 실선은 이 책의 1차원 드리프트–확산 솔버(SC.Device1D, 비선형 포아송 + 연속 방정식, 1201 격자점)가 근사 없이 구한 해다.
공핍 근사 vs 정확한 포아송 수치 해
한쪽 접합과 선형 경사 접합
한쪽 접합(One-sided junction). \(N_A \gg N_D\)인 p⁺n 접합에서는 \(x_p = x_n N_D/N_A \approx 0\)이라 공핍층이 거의 n쪽에만 있다. 식이 간단해지고, 소자의 정전기 성질(W, C, 항복 전압)이 오로지 가벼운 쪽 도핑으로 정해진다. 실제 다이오드·소스/드레인 접합·포토다이오드는 대개 이런 꼴이다.
선형 경사 접합(Linearly graded junction). 확산으로 만든 깊은 접합처럼 도핑이 접합면을 지나며 \(N_D - N_A = ax\)로 서서히 바뀌면 공간 전하도 \(\rho = qax\)로 직선이다. 전기장은 포물선, 전위는 3차 곡선이 되고 \(W\)는 \(V\)의 세제곱근으로 변한다.
접합 용량과 C–V 측정
역바이어스를 \(dV\)만큼 더 걸면 공핍층 가장자리가 조금 물러나며 양쪽에 \(dQ = qN_D\,dx_n\)의 이온이 새로 드러난다. 전하가 공핍층 양 끝에서 들고나므로 공핍층은 두께 \(W\)의 평행판 축전기처럼 행동한다. 이것이 접합 용량(Junction / depletion capacitance)이다.
C–V와 1/C²–V: 직선이 되는 그림 찾기
면적 A = 100 µm × 100 µm = 10⁻⁴ cm², p⁺쪽 10¹⁹ cm⁻³
\(C \propto (V_{bi}-V)^{-m}\)에서 \(m\)은 계단 1/2, 선형 1/3이다. 접합에서 멀어질수록 도핑이 줄어드는 초계단(Hyperabrupt) 분포를 만들면 \(m\)이 1~2까지 커져 작은 전압 변화로 용량을 크게 바꿀 수 있다. LC 공진 주파수 \(f \propto C^{-1/2}\)를 전압으로 조절하는 VCO(전압 제어 발진기)와 튜너가 이 원리를 쓴다. \(m = 2\)이면 \(f \propto (V_{bi}-V)\)로 선형 튜닝이 된다.
이제 실전이다. 아래는 정체를 모르는 p⁺n 다이오드에서 "측정한" 1/C² 데이터다(잡음 포함). 직선을 데이터에 맞춰 도핑과 내부 전위를 뽑아내라.
미지의 접합: 1/C² 직선 맞춤으로 ND와 Vbi 찾기
조건: 면적 A = 10⁻⁴ cm², εs = 1.04×10⁻¹² F/cm, 300 K. 목표: ND는 ±12%, Vbi는 ±0.08 V 안.
1/C² 단위는 pF⁻² (1 pF⁻² = 10²⁴ F⁻²).
핵심 정리
- p와 n을 붙이면 다수 캐리어가 확산해 건너편에서 재결합하고, 고정 이온(공간 전하)이 남는다. 이온이 만든 전기장의 드리프트가 확산을 정확히 상쇄할 때 평형이며, 이때 \(E_F\)는 평평하다.
- \(V_{bi} = (kT/q)\ln(N_AN_D/n_i^2)\). 실리콘은 대략 0.6~1.0 V. 도핑 10배마다 60 mV. 전압계로는 잴 수 없다.
- 공핍 근사: 전하는 직사각형, 전기장은 삼각형(최대는 접합면), 전위는 포물선. \(N_Ax_p = N_Dx_n\), \(W = \sqrt{2\varepsilon_s(V_{bi}-V)(1/N_A+1/N_D)/q}\).
- 공핍층과 전압 강하는 가볍게 도핑된 쪽에 몰린다(한쪽 접합). 무거운 쪽 도핑을 바꿔도 W는 거의 그대로다.
- 공핍 가장자리는 디바이 길이 \(L_D\) 폭으로 번진다. \(W \gg L_D\)이고 순방향이 크지 않을 때 공핍 근사는 정확하다.
- \(C_j = \varepsilon_s/W\). 계단 접합은 \(1/C^2\), 선형 경사 접합은 \(1/C^3\)이 \(V\)에 대해 직선이며, 기울기에서 도핑을, 절편에서 \(V_{bi}\)를 얻는다.
확인 퀴즈
실리콘(300 K) 계단 접합, NA = 10¹⁷, ND = 10¹⁵ cm⁻³의 내부 전위는 대략?
p⁺n 접합(NA = 10¹⁹, ND = 10¹⁵)에 역바이어스를 걸었다. 공핍층의 대부분과 전압 강하는 어디에?
계단 접합에서 역바이어스를 키워 \(V_{bi}-V\)가 4배가 되었다. 접합 용량 Cj는?
면적이 같은 두 p⁺n 다이오드의 1/C²–V 직선을 그렸더니 A의 기울기 크기가 B의 4배였다. 옳은 것은?
평형 계단 접합에서 전기장의 크기가 가장 큰 곳은?
공핍 근사가 가장 크게 틀리는 상황은?