광전자 소자
반도체는 빛을 먹고 전기를 내놓기도 하고, 전기를 먹고 빛을 내놓기도 한다. 광자 하나가 전자–정공 쌍 하나를 만들고(흡수), 전자–정공 쌍 하나가 광자 하나가 되어 사라진다(복사 재결합). 이 단순한 교환 위에 카메라의 이미지 센서, 광통신의 수신기, 지붕 위의 태양 전지, 조명용 LED, 데이터 센터의 레이저가 서 있다. 이 장에서는 이 모든 소자를 밴드갭 \(E_g\)와 흡수 계수 \(\alpha\), 준페르미 준위라는 같은 언어로 읽는다.
- 광자 에너지와 파장의 관계(\(E[\text{eV}] = 1239.8/\lambda[\text{nm}]\))로 재료가 흡수·방출하는 빛의 색을 판단한다.
- 직접·간접 밴드갭의 흡수 차이와 흡수 계수 \(\alpha(\lambda)\), 침투 깊이 \(1/\alpha\), 광생성률 \(G(x)\)를 이해한다.
- 포토다이오드의 수집 효율, 양자 효율, 응답도 \(R = \eta q\lambda/hc\)를 계산한다.
- 태양 전지의 I–V에서 \(V_{oc}\), \(J_{sc}\), FF, 효율과 최대 전력점을 구하고, 쇼클리–콰이서 한계의 근거를 설명한다.
- LED의 발광 파장·스펙트럼 폭, 내부·추출·외부 효율과 탈출 원뿔을 이해한다.
- 유도 방출과 밀도 반전 조건(\(E_{Fn}-E_{Fp} > h\nu\)), 레이저의 문턱과 L–I 곡선을 설명한다.
광자와 밴드갭
빛은 에너지 \(h\nu\)의 덩어리, 광자로 반도체와 주고받는다. 광자 에너지가 밴드갭보다 크면 가전자대의 전자를 전도대로 올려 전자–정공 쌍을 만들고, 작으면 (불순물·자유 캐리어 흡수를 빼면) 그대로 통과한다. 그래서 실리콘(1.12 eV)은 1100 nm보다 긴 적외선에 투명하고, 밴드갭이 3.4 eV인 GaN은 가시광 전체에 투명하다. 거꾸로 LED가 내는 빛의 색은 대략 활성층의 밴드갭이 정한다.
광자 에너지 자와 재료의 밴드갭
| 재료 | Eg (eV, 300 K) | λc (nm) | 밴드갭 | 대표 광소자 |
|---|---|---|---|---|
| Ge | 0.66 | ~1880 | 간접 (직접 갭 0.8 eV) | Si 위 근적외선 검출기 |
| In0.53Ga0.47As | 0.75 | ~1650 | 직접 | 1.3·1.55 µm 광통신 수신기·레이저 |
| Si | 1.12 | ~1107 | 간접 | 이미지 센서, 태양 전지, 가시광 포토다이오드 |
| GaAs | 1.42 | ~873 | 직접 | 850 nm 레이저(VCSEL), 고효율 태양 전지 |
| AlGaInP | ~1.9~2.3 | ~540~650 | 직접 (조성 따라) | 적색·주황·황색 LED |
| InGaN | ~2.4~3.0 | ~410~520 | 직접 | 청색·녹색 LED, 백색 LED(형광체), 청자색 레이저 |
| GaN | 3.4 | ~365 | 직접 | UV LED, 전력·RF 소자 |
흡수 계수와 침투 깊이
광자를 흡수하려면 에너지와 함께 운동량도 보존되어야 한다. 광자의 운동량은 결정 운동량에 비해 거의 0이라, 전자는 E–k 그림에서 수직으로만 올라갈 수 있다. GaAs처럼 전도대 바닥과 가전자대 꼭대기가 같은 \(k\)에 있는 직접 밴드갭(Direct gap)은 \(E_g\) 바로 위에서 흡수가 급격히 시작된다. Si·Ge 같은 간접 밴드갭(Indirect gap)은 부족한 운동량을 포논이 메워 주어야 하는 2차 과정이라 흡수가 약하다. 실리콘의 흡수 계수가 \(E_g\) 근처에서 GaAs보다 100~1000배 작은 이유다.
빛의 세기는 깊이에 따라 지수적으로 줄고(비어–람베르트 법칙(Beer–Lambert law)), 사라진 광자 하나하나가 전자–정공 쌍 하나가 된다. 따라서 표면에 들어온 광자 플럭스 \(\Phi_0\)(광자/cm²·s)로 깊이별 광생성률(Optical generation rate)을 바로 쓸 수 있다.
빛은 실리콘 속 어디서 멈출까
포토다이오드
생성된 전자–정공 쌍을 전류로 꺼내려면 둘을 갈라놓아야 한다. pn 접합의 공핍층 전기장이 그 일을 한다. 공핍층 안에서 생긴 쌍은 전기장에 즉시 갈라져 거의 100% 수집되고, 공핍층 밖의 중성 영역에서 생긴 소수 캐리어는 확산 길이 \(L\) 안에서 공핍층 가장자리에 닿아야 수집된다. 역바이어스를 걸면 공핍층이 넓어져 수집이 좋아지고 접합 용량이 줄어 빨라진다. 아예 두꺼운 진성층을 끼운 것이 pin 포토다이오드다.
소자의 성능은 입사한 광자 하나당 몇 개의 전자를 꺼내는지, 곧 외부 양자 효율(External quantum efficiency, EQE) \(\eta\)로 요약된다. 전기 신호로 쓸 때는 광전력당 전류인 응답도(Responsivity)가 더 편하다.
Si 포토다이오드의 양자 효율과 응답도
스마트폰 카메라의 CMOS 이미지 센서 화소는 수 µm 이하 크기의 포토다이오드다. 표면을 얇은 p⁺층으로 덮고 그 아래 n 영역을 완전히 공핍시킨 고정 포토다이오드(Pinned photodiode)가 표준이다. p⁺층이 Si/SiO₂ 계면을 덮어 암전류를 줄이고, 노출 동안 쌓인 전자는 전송 게이트를 열 때 플로팅 확산 노드로 남김없이 옮겨져(완전 전하 전송) 리셋 잡음 없이 읽힌다. 화소 위의 컬러 필터가 파랑·초록·빨강을 고르는데, 위 시뮬레이터에서 보듯 빨강과 근적외선은 깊이 들어가 이웃 화소로 번지기 쉽다(크로스토크). 그래서 깊은 트렌치 격리(DTI)로 화소를 둘러싼다. 공정은 ProcessBook에서 이어서 볼 수 있다.
태양 전지
태양 전지는 바이어스를 걸지 않은 커다란 포토다이오드다. 빛이 만든 광전류 \(J_L\)이 접합을 거꾸로(역방향 전류 방향으로) 흐르고, 외부 부하에 걸린 전압이 접합을 순방향으로 바이어스해 다이오드 전류가 이를 깎는다. 소자가 전력을 내놓는 곳은 I–V 곡선의 4사분면이며, 관례상 부호를 뒤집어 1사분면에 그린다.
최대 전력점을 찾아라
얼마까지 가능한가: 쇼클리–콰이서 한계
1961년 쇼클리와 콰이서는 '완벽한' 단일 접합 전지의 효율 한계를 계산했다. 결함 재결합이 전혀 없고 모든 광자를 흡수하더라도 두 가지 손실은 피할 수 없다. 밴드갭보다 작은 광자는 흡수되지 않고, 큰 광자는 \(h\nu - E_g\)만큼의 에너지를 격자에 열로 내주며 밴드 끝으로 떨어진다(열화(Thermalization)). 게다가 열평형에 있는 전지는 흑체처럼 빛을 내야 하므로(상세 균형, detailed balance) 그 복사 재결합이 최소한의 \(J_0\)를 정한다.
밴드갭에 따른 효율 한계와 손실 분해
| 전지 종류 | 셀 최고 효율 (대략, 연도) | 비고 |
|---|---|---|
| 단결정 Si (후면 전극형·이종 접합) | 약 27% (2024~2025) | SQ 한계 약 33%, 오제 재결합 포함 한계 약 29.4% |
| GaAs 단일 접합 | 약 29% (2010년대 후반) | 직접 갭, 수 µm 박막, 광자 재활용 |
| 페로브스카이트 단일 접합 | 약 26~27% (2024~2025) | Eg 조절 쉬움, 장기 안정성이 과제 |
| 페로브스카이트/Si 탠덤 | 약 34% (2024~2025) | 2접합으로 열화 손실 분담 |
| III–V 다중 접합 (집광) | 약 47% (2020년경) | 우주·집광 발전용 |
발광 다이오드 (LED)
순방향 바이어스로 접합에 전자와 정공을 함께 쏟아 넣으면, 둘이 만나 재결합하며 \(E_g\) 근처의 광자를 낸다. 이 복사 재결합(Radiative recombination)이 SRH·오제 같은 비복사 재결합과 경쟁해 이기는 비율이 내부 양자 효율(Internal quantum efficiency, IQE)이다. 현대 LED는 밴드갭이 작은 얇은 활성층(양자 우물)을 밴드갭이 큰 클래딩층 사이에 끼운 이중 이종 구조(Double heterostructure)로 캐리어를 가둬 농도를 높인다. 복사 재결합률 \(Bnp\)가 농도의 제곱에 비례하기 때문이다.
가장 골치 아픈 것이 추출 효율이다. 반도체의 굴절률은 3~3.5(GaN 약 2.5)로 공기보다 훨씬 커서, 계면에 비스듬히 닿은 빛은 전반사(Total internal reflection)되어 갇힌다. 빠져나갈 수 있는 빛은 법선과 \(\theta_c\)보다 작은 각을 이루는 탈출 원뿔(Escape cone) 안의 빛뿐이다.
탈출 원뿔과 전반사
InGaN 청색 LED는 작은 전류에서 외부 양자 효율이 80%를 넘지만 전류 밀도를 수십 A/cm² 이상으로 올리면 효율이 떨어진다. 주된 원인으로 고농도에서 \(Cn^3\)으로 커지는 오제 재결합과 활성층 밖으로의 전자 누설이 꼽힌다. ABC 모델에서 IQE는 \(n = \sqrt{A/C}\)에서 최대다. 조명용 LED가 칩 하나를 세게 구동하기보다 여러 칩을 적당히 구동하는 이유다. 효율 저하 연구와 함께 2014년 노벨 물리학상을 받은 청색 LED는 백색 조명(청색 + 황색 형광체)을 가능하게 했다.
반도체 레이저
빛과 2준위계는 세 가지 방식으로 상호작용한다(아인슈타인). 광자가 흡수되거나, 들뜬 전자가 저절로 광자를 내거나(자발 방출), 지나가던 광자가 들뜬 전자를 자극해 똑같은 광자(같은 파장·위상·방향)를 하나 더 만든다(유도 방출(Stimulated emission)). LED는 자발 방출이고, 레이저는 유도 방출로 빛을 증폭한다. 증폭이 흡수를 이기려면 위 준위의 점유가 아래보다 많은 밀도 반전(Population inversion)이 필요하다.
반도체에서 '위 준위'는 전도대의 전자, '아래 준위'는 가전자대의 빈자리(정공)다. 주입으로 준페르미 준위가 갈라질 때, 에너지 \(h\nu\)인 광자에 대해 유도 방출이 흡수보다 많아질 조건은 1961년 버나드와 뒤라푸르가 보였다.
L–I 곡선, 문턱, 스펙트럼
핵심 정리
- \(E[\text{eV}] = 1239.8/\lambda[\text{nm}]\). \(h\nu > E_g\)인 광자만 전자–정공 쌍을 만들고, LED의 발광 에너지는 활성층의 \(E_g\) 근처(반치폭 ≈ 1.8kT)다.
- 직접 갭은 흡수·발광이 강하고, 간접 갭(Si, Ge)은 포논이 필요해 약하다. \(\Phi(x) = \Phi_0e^{-\alpha x}\), \(G(x)=\alpha\Phi_0e^{-\alpha x}\). Si에서 파랑은 0.4 µm, 빨강은 3~4 µm, 850 nm는 약 18 µm까지 들어간다.
- 포토다이오드는 공핍층 전기장으로 쌍을 갈라 수집한다. \(\eta\)는 반사·표면층·확산 길이·두께가 정하고, 응답도 \(\mathcal R = \eta\lambda/1239.8\) A/W는 \(\lambda_c\)까지 파장에 비례해 커진다.
- 태양 전지: \(J = J_L - J_0(e^{V/V_t}-1)\), \(V_{oc} = V_t\ln(J_L/J_0)\), \(\eta = FF\,V_{oc}J_{sc}/P_{in}\). 직렬·병렬 저항은 FF를, 온도는 \(V_{oc}\)를 깎는다.
- 쇼클리–콰이서 한계: 비흡수·열화·복사 재결합 때문에 단일 접합 최대 효율은 \(E_g\approx1.1\)~1.4 eV에서 약 31~34%다. 집광과 다중 접합이 이를 넘는다.
- LED: \(\eta_{ext} = \eta_{inj}\eta_{IQE}\eta_{extr}\). 큰 굴절률 때문에 탈출 원뿔 \(\theta_c = \sin^{-1}(1/n)\)이 좁아(n = 3.5에서 16.6°) 추출 효율을 높이는 구조가 필수다.
- 레이저: 밀도 반전 조건 \(E_{Fn}-E_{Fp} > h\nu > E_g\), 이득 = 손실에서 문턱. 문턱 위에서는 캐리어가 고정되고 \(P = \eta_d(h\nu/q)(I-I_{th})\), 스펙트럼이 한 모드로 좁아진다.
확인 퀴즈
Q1. 1550 nm 광통신 신호를 받는 포토다이오드로 Si가 쓰이지 않는 이유는?
Q2. Si 표면에 파랑(450 nm)과 빨강(650 nm) 빛을 비췄다. 옳은 것은?
Q3. η = 0.8인 Si 포토다이오드의 800 nm 응답도는 약?
Q4. 태양 전지의 J0가 10분의 1로 줄면(다른 조건 동일, 상온) Voc는?
Q5. 굴절률 3.5인 LED 칩에서 공기로 나가는 임계각과, 한 면으로 빠져나가는 빛의 비율(프레넬 반사 무시)은 대략?
Q6. 반도체 레이저가 문턱 전류를 넘었을 때 일어나는 일로 옳지 않은 것은?